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RTR溅镀
RTR溅镀

参考价格

面议

型号

定制-RTR溅镀

品牌

毅睿/芯壹方

产地

中国

样本

暂无
厦门毅睿科技有限公司

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第1年

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RTR溅镀第6页-24.PNG

RTR溅镀第6页-22.PNG                     RTR溅镀第6页-23.PNG




主辊直径1,000mm(φ) x600/1500mm(D)
真空室

5 chambers (Unwind、Pre-Heat、

Coating 、Cooling 、Rewind

有效涂层宽度1,350mm/500mm
厚度15~250μm
速度0.5~20M/min
传输张力2~7Kg @1~3 m/min
对准≤±2mm@1~3m/min
溅射材料

ITO 、Nb₂O5,、SiO2、Si、NbzOX、Cu

厚度均匀性≤±3%
靶材利用率70%
阴极Rotatable cathode 4~ 6 sets


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