MPCVD

推荐MPCVD金刚石:高品质与高速率能否同行?

中国粉体网讯微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD)被认为是制备大尺寸高品质单晶金刚石的理想手段之一。然而其较低的生长速率以及较高的缺陷密度是阻碍MPCVD单晶金刚石应用的主要因素。沉积的金刚石样品高速率生长MPCVD单晶[更多]

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