电化学机械抛光技术

推荐新型SiC抛光技术，效率飙升10倍！

中国粉体网讯 随着半导体技术的飞速发展，碳化硅（SiC）作为一种卓越的高性能材料，正日益成为科研界关注的焦点。然而，其卓越的硬度和化学稳定性特性，在为材料带来优势的同时，也给抛光工艺设置了重重难关。特别是在晶圆的精密制造环节[更多]