电子级氢氟酸

推荐台积电减少萤石用量 与HF供应商用磷肥废料生产电子级氢氟酸

中国粉体网讯 为确保制程关键材料「氢氟酸」稳定供应并友善环境，台积电宣布，已携手供应商以磷肥废料替代萤石，在不影响原有制程品质的前提下成功产制氢氟酸。电子级氢氟酸主要应用于半导体制造过程的清洗和刻蚀等工序，它的纯度和洁净度对[更多]