离子注入

推荐静电卡盘，“卡”了我们的脖子，它到底是啥？

中国粉体网讯 在先进的大规模集成电路制造过程中有着几百种工艺步骤，圆片需要在多达几百种的工艺设备之间来回传输并进行加工检测。在加工过程中，圆片必须被十分平稳、固定地安放在工艺设备上。图片来源：海拓创新静电吸盘结构及工作原理传[更多]