静电吸盘

推荐透视静电卡盘市场，谁主沉浮？

中国粉体网讯 在半导体与光学领域中，部分工艺需要使用静电卡盘（ESC）固定衬底来完成，静电卡盘通常处于下腔室位置。同时静电卡盘也可以实现快速加热以及加载射频功率调节等离子体状态的作用。此外静电卡盘在工艺过程中还具有高稳定性、[更多]

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