静电吸盘

推荐静电卡盘：半导体零部件必“闯”的一关

中国粉体网讯 静电卡盘又称为静电吸盘（ESC），在半导体设备中价值比较高的部件之一，是一种半导体工艺中的硅片夹持工具，利用静电吸附原理来固定硅片。静电卡盘结构示意图来源：Shinko官网，光大证券研究所目前，静电吸盘广泛应用[更多]