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产品简介
产品介绍：
等离子体样品清洗设备Evaction E50主要用于场发射扫描电镜样品和样品室内碳氢化合物、有机物和表面碳污染的清洗。Evaction E50可以安装在电镜交换仓或样品室内，利用等离子体进行清洗，也可以用紫外线进行清洗，无需切换到低真空模式即可使用，射频功率高达50W，清洗效率高。
主要特点：
n清洗效率高（射频功率50W）
n等离子体和紫外线双重清洗
n高真空模式下运行，真空范围大
n无损清洗
n无需特殊气源
n兼容SEM、FIB等设备
操作方式 | 桌面按钮控制 |
远程遥控 | 支持安卓平板电脑或蓝牙控制 |
尺寸 | 44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D) |
射频功率 | 20 - 75 W (13.56 MHz RFHC) |
电源 | 100 – 240 VAC 50/60 Hz |
标准 | 符合RoHS标准 |
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