创新点

1.**保护MyAutoView的光斑可视功能，可对薄膜样品直接观测测量光斑和样品表面，简单直接，提高测量精确度。直接观测测量点，可极快地准确判断测量点位置，避免光斑落在污点处，同时对于有图形的薄膜，配合自动平台，可以准确地定位微光斑，快速地进行椭偏测量。 2.全自动样品水平调整系统，可自动找平测量表面，使测量更简单。 3.Uvisel 2采用反射式结构(无色差)微光斑技术，对于激发波长均保证光斑大小相同。8种光斑尺寸，包括目前世界上*小的35um无色差微光斑，极大地提供了空间分辨率。 4.190-1000nm分光系统采用双级单色仪，具有更高的杂散光抑制率，有效减少测量时间，保证数据在高精度，高信噪比下快速测量。 5.采用新的双级分光系统和电学反馈系统，使整体测量速度大幅提高，190-1000nm仅需60秒就可得到高精度，高分辨率测试结果，190-2100nm范围仅需5分钟。

仪器介绍：

UVISEL2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时，配备革新的可视系统，多达8个尺寸微光斑选项，*小达35×85μm2，适用于所有薄膜材料研究领域。是目前市场上****的机型。技术参数：

·光谱范围：190-2100 nm

·8种光斑尺寸: *小35 X 85 um

·探测器：3个独立探测器，分别优化紫外，可见和近红外

·自动样品台尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

·样品水平度自动调整

·自动量角器：变角范围35°- 90°，全自动调整，*小步长0.01°

主要特点：

·完全自动化设计，自动对焦、校正

·全新光路、电路设计，测量精度更高，速度更快

·50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件

·双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高

·8个尺寸微光斑，**可视技术

·自动平台样品扫描成像