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原子力显微镜环境型AFM5300E
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特色

1. 环境控制功能(大气,真空,液体,温控等)

AFM5300E能够实现高真空的测试环境,**限度减小样品表面吸附水对测试的影响,实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。另外,新开发的『温度扫描功能』可监视样品Z方向的热胀冷缩,通过控制反馈信号,使悬臂在变温环境下连续测试样品表面的物理特性。

(**3857581号、**3926638号)

大气中 ●液体中 ●真空中 ●特殊气氛(流量控制)

●温度控制 加热?冷却(-120~300℃) 高温(室温~800℃)

●湿度控制(0~80%)

●外加磁场(水平、垂直、面内旋转、max5000 Oe )(使用选配项)

2. 简便操作(综合型Holder Flange)

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』,样品和扫描器更換更为方便的同时,免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。

3. **的高性能

采用了『Swing Cancel功能』,减轻了样品的浮动,降低了漂移。提高了纳米分析性能,提升了可信度。 漂移量:0.015nm/sec以下

4. 通过减轻表面吸附水的影响,提高了电气性能的检测精度

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响,因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。

规格

分辨率原子相
样品尺寸20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm)
样品移动范围X-Y stage 5 mm
扫描范围标准: 20 μm□/1.5 μmH

• 150 μm□/5 μmH

• 15 μm□/1.5 μmH(闭环差控制)

定位显微镜 • 简易显微镜(×200倍)

• 光学显微镜(×1000倍)

• 变焦显微镜(×700倍)

• 金相显微镜(装有微分干渉)(×2000倍)

检测功能
  • AFM(接触模式)

  • DFM(轻敲模式)

  • PM(相位)

  • FFM(摩擦)

  • MFM(磁力)

  • SIS模式

  • LM-FFM(横向摩擦)

  • VE-AFM/DFM(粘弹性)

  • Adhesion(吸附力)

  • CURRENT(电流)

  • SSRM(扩展抵抗)

  • SNDM(非线性介电常数)

  • PRM(压电响应)、KFM(表面电位)

  • 液体中AFM/DFM

  • EC-AFM/STM

  • NanoIndentation(硬度)

  • Nano-TA(微区加热)

选配件高温加热样品台

加热冷却兼用样品台

冷却真空

温度控制

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