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台式三维原子层沉积系统ALD

原子层沉积（Atomic layer deposition， ALD）是通过将气相前驱体脉冲交替的通入反应器，化学吸附在沉积衬底上并反应形成沉积膜的一种方法，是一种可以将物质以单原子膜形式逐层的镀在衬底表面的方法。因此，它是一种真正的纳米技术，以精确控制方式实现纳米级的超薄薄膜沉积。由于ALD利用的是饱和化学吸附的特性，因此可以确保对大面积、多空、管状、粉末或其他复杂形状基体的高保形的均匀沉积。

美国ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列台式 ALD系统，在小巧的机身（78 x56 x28 cm）中集成了原子层沉积所需的所有功能，可*多容纳9片8英寸基片同时沉积。GEMStar XT全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热，横向喷头等设计，使温度均匀性高达99.9%，气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在 8英寸基体上膜厚的不均匀性小于1%，而且更适合对超高长径比的孔径结构等3D结构实现均匀薄膜覆盖，可实现对高达1500：1长径比微纳深孔内部的均匀沉积。

GEMStar XT 产品特点：

■ 300℃ 铝合金热壁，对流式温度控制

■ 175℃ 温控150ml前驱体瓶，200℃ 控输运支管

■ 可容纳多片4，6，8英寸样品同时沉积

■ 可容纳1.25英寸/32mm厚度的基体

■ 标准CF-40接口

■ 可安装原位测量或粉末沉积模块等选件

■ 等离子体辅助ALD插件

■ 多种配件可供选择

GEMStar XT 产品型号：

GEMStar -4 XT：

■ **4英寸/100 mm基片沉积

■ 单路前驱体输运支管， 4路前驱体瓶接口

■ 不可升级为等离子体增强ALD

GEMStar -6/8 XT：

■ **6英寸(150mm)/8英寸(200mm)基片沉积

■ 双路前驱体输运支管， 8路前驱体瓶和CF-40接口

■ 可升级为等离子体增强ALD

GEMStar -8 XT-P：

■ **8英寸/200mm基片沉积

■ 双路前驱体输运支管， 8路前驱体瓶和CF-40接口

■ 装备高性能ICP等离子发生器

13.56 MHz 的等离子源非常紧凑，只需风冷，**运行功率达300W。

■ 标配３组气流质量控制计（MFC）控制的等离子气源线，和一条MFC控制的运载气体线，使难以沉积的氧化物、氮化物、金属也可以实现均匀沉积。

GEMStar NanoCUBE：

* **100 mm 立方体样品沉积

* 单路前驱体输运支管， 2路前驱体瓶接口

* 主要用于3D多孔材料，以及厚样品的沉积

丰富配件：

多样品托盘： * 多样品夹具，样品尺寸（8"， 6"， 4"）向下兼容。 * 多基片夹具，*多同时容纳9片基片。			温控热托盘： * 可加热样品托盘，**温度500℃，可实现热盘-热壁复合加热方式。
粉末沉积盘：			臭氧发生器：
真空进样器（Load Lock）			晶振测厚仪
前驱体瓶：			前驱体加热套：
粉末旋转沉积罐模块：配合热壁加热方式，进一步实现对微纳粉末样品全保型薄膜均匀沉积包覆。

手套箱接口：可从侧面或背面**接入手套箱，与从底部接入手套箱不同，不占用手套箱空间。由于主机在手套箱侧面，反应过程中不对手套箱有加热效应，不影响手套箱内温度。

应用案例

应用领域

国内外用户

已发表文献

1、LoïcAssaud et al. Systematic increase of electrocatalytic turnover over nanoporousPt surfaces Prepared by atomic layer deposition. J. Mater. Chem. A (2015) DOI: 10.1039/c5ta00205b

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9、Joseph Larkin et al. Slow DNA Transport through Nanoporesin Hafnium Oxide Membranes. ACS Nano(2013)， 11， 10121–10128. DOI: 10.1021/nn404326f

10、Thomas M et al. Extended lifetime MCP-PMTs: Characterization and lifetime measurements of ALD coated microchannel plates， in a sealed photomultiplier tube Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2013) 732， 388–391. DOI: 10.1016/j.nima.2013.07.023

11、Kevin J. Maloney et al. Microlattices as architected thin films: Analysis of mechanical properties and high strain elastic recovery. APL Mater. 1， 022106 (2013) DOI: 10.1063/1.4818168

12、 Sean W. Smith et al. Improved Temperature Stability of Atomic Layer Deposition Coated Cellulose Nanocrystal Aerogels. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2012) DOI: 10.1557/opl.2012.

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