主动减振台-减振台-HERZ

主动隔振系统是通过持续感应输入振动并动态消除来运作。在每个系统中，至少有六个振动传感器，压电加速度计，用于感应检测仪器的振动。它们的信号被送入中央处理器，该中央处理器将信号整合起来，并向执行器发送一个消除信号。旧的执行器是音圈执行器（扬声器）；新的执行器是压电传感器，其产生的振动与输入振动相等且异相，消除了输入的振动。有一组弹簧支撑系统，提供被动隔振。该系统具有反馈回路，可以抑制系统的结构共振。该反馈回路消除了每个被动隔振系统中出现的低频共振和附带共振。

HERZ主动隔振系统具有以下优点：

- 无低频共振

- 低频隔振

- 内部反馈回路抑制所有机械共振

- 六自由度隔振（而不仅仅是X， Y， 和Z)

- 反馈系统不需要调整到振动水平

- 响应时间5 ~ 20 毫秒

- 不需要空气

- 紧凑型

主要应用于：

原子力显微镜

扫描探针显微镜

干涉测量

荧光显微镜

摩擦学和纳米压痕测试

高精度测量

高分辨率显微镜

轮廓测量

试管受精

此外，TS系列还有多个升级选项可供选择，如：

工作台集成

（包括架子，监控器支架，键盘托盘等）

隔音箱集成

(如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)

定制面板尺寸及材料

（通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）

振动器集成（激励源）

远程显示

（重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）

远程电源

（免受电磁噪音或热量干扰）