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晶圆真空传输平台—VTM
晶圆真空传输平台—VTM

参考价格

面议

型号

晶圆真空传输平台—VTM

品牌

致真精密

产地

安徽

样本

暂无
合肥致真精密设备有限公司

高级会员

|

第1年

|

生产商

工商已核实

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核心参数
  • 输送能力:

    -
  • 输送距离:

    -
  • 工作原理:

    其他
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    -
  • 空气速度:

    -
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晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计,可以实现多个工艺室的互联,系统可选配机械臂和校准装置,可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。

性能参数

晶圆尺寸

8或12吋
极限真空优于5×10-7mbar
前端模块可选EFEM等
对接口四个,六个,八个(可实现多套互联)
机械臂可选单臂和双臂,定位精度±0.1mm
校准装置对准器,校准传感器
真空系统机械泵+分子泵,可选离子泵等
控制系统PC+PLC
安全互锁,碰撞保护,真空互锁等
标准SEMI


创新点

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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
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