输送能力:
-输送距离:
-工作原理:
其他生产能力:
-空气速度:
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晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计,可以实现多个工艺室的互联,系统可选配机械臂和校准装置,可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。
性能参数
晶圆尺寸 | 8或12吋 |
极限真空 | 优于5×10-7mbar |
前端模块 | 可选EFEM等 |
对接口 | 四个,六个,八个(可实现多套互联) |
机械臂 | 可选单臂和双臂,定位精度±0.1mm |
校准装置 | 对准器,校准传感器 |
真空系统 | 机械泵+分子泵,可选离子泵等 |
控制系统 | PC+PLC 安全互锁,碰撞保护,真空互锁等 |
标准 | SEMI |
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