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科研级磁控溅射设备—MS-700
科研级磁控溅射设备—MS-700

参考价格

面议

型号

科研级磁控溅射设备—MS-700

品牌

致真精密

产地

安徽

样本

暂无
合肥致真精密设备有限公司

高级会员

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第1年

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生产商

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MS-700磁控溅射设备是一款具有多功能、多阴极的磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度的特点。可根据需求配置4inch以下的圆形阴极,可选择垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚测量等配置。适用于研发和生产需要多靶溅射的中高精度的工艺需求。

性能参数

晶圆尺寸

4inch-6inch

镀膜均匀性

优于±2%

极限真空

优于5×10-10mbar(金属密封)

优于5×10-9mbar(胶圈密封)

温控

RT-800℃,可选**1200℃

阴极数量

12个2inch 或  6个4inch,共焦溅射

电源

DC、RF、DC Pulse

沉积精度                    

0.1nm

占地面积

4m L*3m W*2.5m H

可选

低温泵、垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚仪、RGA、工艺菜单等


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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

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