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真空退火炉—VF-200
真空退火炉—VF-200

参考价格

面议

型号

真空退火炉—VF-200

品牌

致真精密

产地

安徽

样本

暂无
合肥致真精密设备有限公司

高级会员

|

第1年

|

生产商

工商已核实

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核心参数
  • 非金属电热元件:

    其他
  • 金属电热元件:

    其他
  • 烧结气氛:

    氧气
  • 温控精度:

    RT-1200℃,精度±1℃
  • 最高温度:

    -
  • 额定温度:

    -
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真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段,在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。VF-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉,可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火,也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导,系统搭配控制软件,运行稳定可靠!

性能参数

晶圆尺寸

1inch-8inch

极限真空

5×10-8mbar

温控

RT-1200℃,精度±1℃

加热方式

SIC辐射加热

气体氛围

可在O2等环境下加热

互联

可与工艺腔体互联实现自动传输

真空系统

机械泵+分子泵

可选

磁铁模块、进样室、气氛退火等


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用户评论

产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
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