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看了两个镀膜系统直接互联设备的用户又看了
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致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联,适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连,成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连,通过选配进样室可以实现超高真空过渡,减少对镀膜系统的污染。
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真空上料机
ZKS系列真空上料机
负压密相输送
✔真空输送、气力输送、专用设备:罗茨风机