误差率：
-分辨率：
0.015nm@13.5nm， 可根据需求优化重现性：
-仪器原理：
其他分散方式：
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平场光谱仪，采用全息凹球面变线距光栅进行分光，具有平场特性，便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下，衍射效率高，同时通过选用不同的光栅型号，可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。
光栅型号 | N (l/mm) | λ1 ~ λ2(nm) | L(mm) | r(mm) | α(deg.) | r1'(mm) | β1(deg.) | r2'(mm) | β2(deg.) | ri'(mm) | βi'(deg.) |
30-001 | 2400 | 1~6 | 25.3 | 237.0 | 88.00 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235.0 | 90.00 |
30-002 | 1200 | 5~20 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 |
30-003 | 2400 | 1~7 | 26.8 | 236.7 | 88.60 | 235.8 | 85.79 | 239.5 | 79.39 | 235.0 | 90.53 |
30-004 | 2400 | 0.6~4 | 19.4 | 236.8 | 88.65 | 233.9 | 86.64 | 235.8 | 81.94 | 233.5 | 90.00 |
30-005 | 1200 | 3.5~8.5 | 11.1 | 237.0 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.30 | 233.5 | 90.00 |
30-006 | 300 | 20~80 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 |
30-007 | 120 | 50~200 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 |
30-008 | 1500 | 9~45 | 68.5 | 379.0 | 80.00 | 372.7 | 76.24 | 394.6 | 66.54 | 362.0 | 90.00 |
| 30-009 | 500 | 27~135 | 68.5 | 379.0 | 80.00 | 372.7 | 76.24 | 394.6 | 66.54 | 362.0 | 90.00 |
光谱仪型号 | 线密度(l/mm) | 波⻓范围(nm) | 成像⾯⻓(mm) | 线⾊散(nm/mm) |
VuSpeC-EFlat-1 | 2400 | 1~6 | 23.5 | 0.15~0.30 |
VuSpeC-EFlat-2 | 1200 | 5~20 | 25.3 | 0.50~0.80 |
VuSpeC-EFlat-3 | 2400 | 1~7 | 26.8 | 0.15~0.35 |
VuSpeC-EFlat-4 | 2400 | 0.6~4 | 19.4 | 0.15~0.30 |
VuSpeC- EFlat-5 | 1200 | 3.5~8.5 | 11.1 | 0.40~0.55 |
VuSpeC- EFlat-6 | 300 | 20~80 | 25.3 | 1.70~3.20 |
VuSpeC- EFlat-7 | 120 | 50~200 | 25.3 | 4.50~8.00 |
VuSpeC- EFlat-8 | 1500 | 9~45 | 68.5 | 0.50~1.00 |
VuSpeC- EFlat-9 | 500 | 27~135 | 68.5 | 0.80~1.70 |
● 光栅类型： 凹球⾯变线距光栅
● 波⻓范围： 0.6~200nm(选配)
● 光谱分辨率： 0.015nm@13.5nm， 可根据需求优化
● 探测器类型： 科研级相机
● 前置收光可选
● 具备远程激光快速瞄准定位功能
● ⾼真空兼容，5×10-3 Pa
● 具有5μm~300μm在线连续可调
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