误差率：
-分辨率：
0.16nm@167nm重现性：
-仪器原理：
其他分散方式：
-测量时间：
-测量范围：
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NIM型真空紫外光谱仪，采用Seya- Namioka光路结构，入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上，可以单色模式和光谱模式切用 。
● 波⻓范围较宽
● 在线精密可调狭缝
● 可扩展空间维聚焦
● 可进⾏系统集成服务
● 结构紧凑集成度⾼
● ⾼真空兼容性
●光栅类型： 球⾯光栅
● 波⻓范围： 80nm~200nm
● 光谱分辨率： 0.16nm@167nm
● 波⻓精度： 根据需求设计
● 探测器类型： 科研级相机
● 狭缝宽度： 0.01~3mm在线连续可调
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