金属电热元件：
其他烧结气氛：
其他温控精度：
-最高温度：
-额定温度：
-非金属电热元件：
其他看了垂直氧化炉的用户又看了
留言询价
虚拟号将在 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
产品性能：
*垂直结构，5～50片/批
*稳定优良的成膜均匀性，重复性好
*微环境低氧控制先进技术
*硅片颗粒度控制稳定，国际标准
*多工艺选择，模块化，操作便利
*全自动流程，盒对盒，AGV对接
*高集成度，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
配套工艺：
*氧化：干氧/湿氧（DCE, HCL），氮、氢退火，合金、固化，快速热退火
*多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2，磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG
*TEOS，LTO，HTO，SIPOS...
暂无数据！
垂直氧化炉的工作原理介绍？垂直氧化炉的使用方法？垂直氧化炉多少钱一台？垂直氧化炉使用的注意事项垂直氧化炉的说明书有吗？垂直氧化炉的操作规程有吗？垂直氧化炉的报价含票含运费吗？垂直氧化炉有现货吗？垂直氧化炉包安装吗？
手机版：
工商已核实
