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设备特点：
化结构设计 占地面积小
灵活多样的工艺调整
温区稳定，极高的可靠性
高洁净度，极低维护使用成本
产品性能：
炉型结构：水平/垂直
工艺温度可达1500℃（炉体可达更高的温度）
小批量R&D为5～25片/炉，生产型为50～100片/炉
常压/压力控制，极限＜10-3mbar，工艺压力：800～1000mbar
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