额定温度：
-非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
其他温控精度：
-最高温度：
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产品性能：
2~12寸晶圆工艺，5~25片/批
占地面积小，水平多管/垂直单管
200～1300℃/1400℃/2200℃（高温）
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