韫茂科技内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

品牌：韫茂科技
产地：福建
关注度：2348
型号：GM100
报价：面议
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核心参数

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产品介绍

内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

技术参数：

1样品**装载量：100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片

2样品反应温度：RT-300ºC

3前驱体：**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,

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工商信息

企业名称

厦门韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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厦门韫茂科技有限公司成立于2018年，团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项，入选国家级高新技术企业及国家级专精特新“小巨人”企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产，目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业

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