韫茂科技超高真空多腔体磁控溅射系统_报价-厦门韫茂科技有限公司

超高真空多腔体磁控溅射系统

品牌：韫茂科技
产地：福建
关注度：3504
型号：QBT-MP
报价：面议
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核心参数

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产品介绍

超高真空多腔体磁控溅射系统

技术参数：

基板：可加热至RT-900ºC，可旋转，基板与靶材距离连续可调，晶圆和靶空间可以连续变化

极限真空：<3E-9Torr

基板传输：高度可靠和可重复的基板传输能力

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工商信息

企业名称

厦门韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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成立日期

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厦门韫茂科技有限公司成立于2018年，团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项，入选国家级高新技术企业及国家级专精特新“小巨人”企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产，目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业

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