认证信息
高级会员 第 2 年
名 称：北京燕京电子有限公司认 证：工商信息已核实
访问量：105250
手机网站
扫一扫，手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
图片
简介
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统，被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩，可配备四路喷淋系统，包括显影液和去离子水等，以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括：喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制，7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用，可进行程控操作，具有优异的性价比。
规格参数
项目 | 参数 |
基板zui大直径 | 8英寸 |
转速 | 0~10000RPM可调 |
转速控制精度 | 1RPM |
加速度 | 10-50000RPM/S（空载） |
程序 | 可编程100组100步程序 |
运转zui大时长 | 3000S |
时间设置精度 | 0.1S |
显示 | 7”全彩触摸屏 |
机体材料 | HDPE内腔，SUS外壳，耐溶剂PC透明盖 |
功能图解
SC100D 外形尺寸
应用系统
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- Corsolutions高精密微流控蠕动泵PeriWave
- Cetoni微流控低压精密注射泵neMESYS 290N
- Cetoni微流控高压精密注射泵neMESYS 2600N
- Cetoni微流控中压精密注射泵neMESYS 1000N
- Corsolutions高精密微流控压力泵PneuWave pump
- 宽带宽电压放大器
- Cetoni微流控蠕动泵peRISYS-S
- Cellix高精密微流控压力泵4U Pump
- GHZ高速放大器
- 精密压力进样泵
- LabSmith微流控精密注射泵SPS01
- LabSmith高压电源HVS448
- AMF OEM微流控注射泵SPM OEM Syringe Pump
- Cellix高精密微流控压力泵UniGO Pump
- 低频电压放大器
- LabSmith微流控温度控制器冷热板uTE系列