产品介绍：

• 反应舱：
  材料：铝

  有效尺寸：600 x 600 x 600mm

  容积：216升

  舱门：装有可视窗口

  托盘：5个。尺寸：562 x 660 x 40mm

• 真空度测量：

  皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关）

• 真空泵：

  旋片式真空泵；60m³ 每小时；含真空泵油。

• 频射发生器：

  0~1000w可调，100KHZ发生器

• 控制系统：

  触摸屏操作，PLC控制系统

  PLC可实现下列功能：

  1、自动控制反应过程；

   2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；

   3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；

   4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；

   5、 设定操作、维护密码。

• 电源：

  380V AC、三相、50Hz、40A.

• 反应气体：

  一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展

• 气体输入：

  直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar.

• 尾气排放：

  直径28mm 输出端口。

• 安全性能：

  急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。

可选件：

• 300 m³/小时 的机械增压泵
• 频射发生器：2.45GHZ， 13.56MHZ
• 多个气体输入管道。
• 根据客户工艺要求制作的软件程序
• 根据客户要求制作的托盘。
• 辊轮式载料系统。
• N₂ Purge.