MSP系列薄膜分析产品来自美国AST（Angstrom Sun ）公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。

产品简介：

显微分光光度计(Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用来描述薄膜、涂层厚度超过1微米的物件的光学性能的。显微分光光度计同样也被称作为：microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠着Angstrom公司独特的专业设计，MSP系列产品有着在线的实时数字成像系统，以及强大的数字编辑能力、拥有者反射率、透射率及吸收光谱等测量工具。可以在毫秒的时间内就完成数据采集。在进行诸如反射、透射、涂层厚度、折射率(光学常数)等光学性能改变的运动学研究方面，TFProbe软件允许用户设立加热阶段或冷却阶段。在各种MSP型号的可移动X-Y平台或ρ-θ平台中都可以用到自动成像功能，在使用螺杆的电动调焦功能上也同样的能使用此功能。仪器所能测量的波长范围通常是用户考虑的*重要的一个参数，Angstrom公司的MSP产品，其测量波长覆盖了从深紫外光(DUV)到近红外光的范围。这个波长范围应当诸如薄膜或涂层的厚度、反射或透射的典型波长范围等因素决定。

产品特点：

• 基于视窗结构的软件，很容易操作

• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出**的性能及*长的正常运行时间

• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

• 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计

• 在很小的尺寸范围内，*多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率

• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数

• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率

• 系统配备大量的光学常数数据及数据库

• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析

• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体

• 能够应用于不同类型、不同厚度(*厚可测200mm)的基片测量

• 使用深紫外光测量的薄膜厚度*低可至20 Ǻ

• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面

• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量

• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用

系统配置：

• 型号：MSP300R

• 探测器：2048像素的CCD阵列

• 光源：直流稳压卤素灯

• 光传送方式：光纤

• 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，手动调节移动范围为75mm×55mm

• 物镜有着长焦点距离:4×，10×，50×

• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

• 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数

• 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器

• 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A

• 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)

• 重量：120磅总重

• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数：

• 波长范围：400nm到1000 nm

• 波长分辨率: 1nm

• 光斑尺寸：100µm (4x)， 40µm (10x)， 8µm (50x)

• 样品尺寸：标准150×150mm

• 基片尺寸：*多可至20mm厚

• 测量厚度范围: 10nm 到25 µm

• 测量时间：*快2毫秒

• 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

• 重复性误差：小于2 Ǻ

应用领域：

• 半导体制造（PR，Oxide， Nitride..)

• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）

• 医学，生物薄膜及材料领域等

• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

• 医药及医药中间设备等

• 光学涂层，TiO2， SiO2， Ta2O5... ..

• 半导体化合物

• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项：

• 波长可扩展到远深紫外光(MSP100)或者近红外光范围(MSP500)

• 高功率的深紫外光用于小斑点测量

• 可根据客户的特殊需求来定制

• 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷

• 可选择的平台尺寸*多可测量300mm大小尺寸的样品

• 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

• 各种滤光片可供各种特殊的需求

• 可添加应用于荧光测量的附件

• 可添加用于拉曼应用的附件

• 可添加用于偏光应用的附件

• 自动成像平台*多可对300mm的晶片进行操作

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薄膜物性分析仪器系列（膜厚，光学参数，反射谱及颜色，膜面阻，等）

膜厚，光学参数：

SR100 薄膜分析仪

SR300 薄膜分析仪

SR500 薄膜分析仪

SE200BA 椭偏薄膜分析仪

SE200BM 椭偏薄膜分析仪

SE200-MSP 椭偏薄膜分析仪

SE300BM 椭偏薄膜分析仪

SE500BA 椭偏薄膜分析仪

MSP100 薄膜分析仪

MSP300 薄膜分析仪

MSP500 薄膜分析仪

uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块

膜面阻：

EddyCus®-TF lab 2020、

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