技术参数：

HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。

应用：

· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD

· 真空涂覆/ 等离子刻蚀

· 沉积溅射

· 污染物研究

· 基本压力辨别

· 泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析

· 除气/烘烤/泵效能

· 反应室/过程气体污染物

特点：

· 简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构

· Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到*适宜的灵敏度

· 连续取样从10^-4mbar至1mbar.

· 高灵敏度（**可至5ppb），质量数可选至1000amu

· 软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究

· 稳定性好(24h之上，峰高变化小于±0.5%)

· MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制

· 气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置

· 自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警