仪器简介：

HIDEN RGA/3F/PIC 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。1-50amu高分辨四极杆质谱。

· 残余气体或泄漏检测

· 实际泄漏或脱附分析

· 除气研究

· 烘烤周期

· 泵效能

· 腔室/过程气体污染物

主要特点：

· 灵敏度PPM，质量数至300amu

· 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）

· MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制

·阈值离子化模式分析D2/He

· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰

· 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰

· 同步显示数据图，列表

· 同步背景扣除，自动质量数列表

· 数据输出为ASCII格式，至windows设备

· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如

· Excel、SPC-IV统计过程控制软件等