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二次离子质谱探针
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英国
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仪器简介:

EQS 是差式泵式二次离子质谱(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用**技术的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

技术参数:

应用:

· 静态 /动态SIMS

· 一般目的的表面分析

· 整体的前端离子源,便于RGA和 SNMS

· 兼容的离子枪/ FAB 枪

· 成分/污染物分析

· 深度分析

· 泄漏检测

· 与Hiden SIMS 工作站兼容

主要特点:

· 高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围

· SIMS 成像,分辨率在微米以下

· 光栅控制,增强深度分析能力

· 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.

· 所有能量范围内,离子行程的*小扰动,及恒定离子传输

· 差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至2500amu

· 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

· Penning规和互锁装置可提供过压保护

· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制

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