用于工艺质量监控定标性测试系统ContourGT-X是实验室开发到批量生产均可适用的高性能仪器。它积累了前十代产品在白光干涉技术上的创新，实现了快速地三维表面测量，从纳米级粗糙度表面的测量到毫米级台阶的测量，垂直分辨率可达亚纳米级。可编程的XYZ控制和扫描头自动控制，使得仪器操作简便易行。配备的Vision64软件，具有业界仪器测量和数据分析功能，而其优化设计的用户界面为使用者自行定义自动测量和数据分析提供了便利。

ContourGT-X是当今业界先进的白光干涉仪，可用于眼科镜片、医疗器械、高亮度LED、半导体器件、TSV、太阳能电池片、汽车零部件、触摸屏和加工零件等各行业，为用户提供快速、准确地三维非接触式测量。内部激光自校准技术可以自动校准因环境或机械不稳定产生的漂移，无需标准块。大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业、科学研究、产品开发、质量控制及失效分析等领域业界先进的白光干涉仪

ContourGT-X配备倾斜调整支架、全自动X，Y， Z 样品台、自动视场目镜转换台，测试过程更快、更便捷。节省空间高稳定性的基座设计以及与机台集成一体式的防震系统，使系统具有防震性与稳定性。配备新的Vision64软件，具有业界仪器测量和数据分析功能，而其优化设计的用户界面为使用者自行定义自动测量和数据分析提供了便利。

仪器特性：

· 业界标杆，大视场下高的垂直分辨率

· 从0.5x到200x不同放大倍率实现不同面型和织构表面的表征

· 硬件的优化设计进一步提升的仪器抗噪声能力、系统灵活性和测量稳定性

· 激光自校准技术使得仪器间测量数据一致，保证测量的重复性和准确性

· 优异的缝合能力可以对上千个数据无缝拼接，实现样品大面积检测

· 多核处理器和64位软件使数据分析速度提高十倍以上