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芯片环境制样舱
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产品简介

芯片环境制样舱内置数显制样系统,自带13寸显示器及自动变焦功能,放大倍率高于100X,完全取代使用者肉眼观察模式,使得制样更高效。内置气体氛围控制器,可实现气体氛围及饱和水汽氛围等多种液体气氛控制,精确控制易挥发液体制样过程。还可选择无水氧制样舱,应用于空气及水敏感体系。

技术参数:

1)整体尺寸L*W*H=1300*650*710,实验舱:L*W*H=760*600*700,过渡舱:L*D=330*φ280(单位:mm),以实物尺寸为准。

2)可实现气体氛围及饱和水汽氛围等多种液体气氛控制。

3)数码放大倍数>100倍;显示器13寸,分辨率1920*1080;相机帧率大于等于30/秒。

4)真空泵真空度50mBar

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