产品描述

NVM-6000P是专用型设备，用于基板表面形貌的测量。

基板上的Via Hole，Pad形状，pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性，支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。

产品规格

扫描范围：0-180um（270um可选）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm

台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)

横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）

工作台面：510X405mm（程控）

尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)

应用领域

Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。