主要特点：

? 浸没式热场发射电子枪

提供高稳定的电子束束流，与**光栏角控制透镜配合获得高分辨图像.

? 电子束大电流高速分析

电子束**束流强度200nA

? 离子束大电流模式

加工速度很快

? 实时监控加工过程

通过扫描电镜图像可以实时监控加工过程，提高了内部结构分析和获得TEM用薄膜样品的效率。

? 扩展性极强

大样品台**装样直径50mm，并且可以同时安装EDS， EBSD， and CLD等探头

技术参数：

FIB

离子源：Ga（镓）液态金属离子源

保证分辨率： 5 nm 以下(加速电压 30 kV)

加速电压： 5 to 30 kV

放大倍数： x30 (广域)

x100 - x300，000

**束流：30 nA

SEM

浸没式热场发射电子枪

保证分辨率： 1.2 nm (电压 30 kV)

加速电压： 0.2 to 30 kV

放大倍数：x50 - x1，000，000

**束流： 200 nA

样品台移动范围： X:50mm ， Y:50mm ， Z:1.5～40mm ， T:－5～70° ， R:360°