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日本电子JIB-4000 FIB聚焦离子束
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日本
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产品简介

主要特征:

? **高通量聚焦离子束(FIB)加工系统

? 紧凑式设计以便灵活布局-安装空间减少20%

? 低加速电压时出色的性能

? 快速寻找观察位置的平台系统

主要规格:

离子源:Ga(镓)液态金属离子源

图像分辨率:5nm

束电流:**至60 nA

加速电压:130Kv

放大倍率:×60 (用于视场搜索)×200×300,000

图片获取:平台搜索(可选)

样品台1(标准):5轴马达驱动样品台

样品台2(可选):侧插式测角样品台

沉积物:**个GIS装置

碳、钨、铂

装置:主要部件+操作台

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