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日本PHL双折射测量仪蓝宝石专用
日本PHL双折射测量仪蓝宝石专用的图片
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暂无
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日本
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产品简介

主要简介:

在PA系类设备的基础上,加装晶圆专用的装置,可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。

主要特点:
  • 操作简单,测量速度可以快到3秒。

  • 视野范围内可一次测量,测量范围广。

  • 更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。

  • 具有多种分析功能和测量结果的比较。

  • 维护简单,不含旋转光学滤片的机构。

  • 高达2056x2464像素的偏振相机。

应用领域:
  • SIC

  • 蓝宝石

技术参数:

项次 项目 具体参数
1输出项目相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】
2测量波长520nm
3双折射测量范围0-130nm
4测量*小分辨率0.001nm
5测量重复精度<1nm(西格玛)
6视野尺寸40x48mm到240x320mm(标准)
7选配镜头视野不适用
8选配功能 实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制
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