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产品简介
德国MLase公司由准分子激光***Tuilaser公司前主要技术和领导负责人合作成立,其技术和管理源于Tuilaser公司,MLase公司专注于高品质的准分子激光的研发和制造,其产品广泛应用于医疗、科研和工业应用。
主要技术参数:
型号 | MLI-500 | MLI-500 |
类型 | 准分子激光器 | 准分子激光器 |
工作物质 | ArF | KrF |
波长 | 193nm | 248nm |
重复频率(**) | 500Hz | 500Hz |
高电压开关技术 | 固体开关 | 固体开关 |
能量 | ||
**能量 | >14mJ | >18mJ |
稳定能量 | >10mJ | >14mJ |
能量不稳定度 | <3% | <3% |
平均功率(稳定能量、**重频) | 5W | 7W |
脉冲宽度 | ||
脉冲宽度(FWHM,典型) | 5-10ns | 5-10ns |
光束数据 | ||
光束尺寸(VxH) | 6mmx3mm | 6mmx3mm |
光束发散角(VxH) | 2mradx1mrad | 2mradx1mrad |
寿命 | ||
光学的寿命(稳定的能量) | >200Mio | >500Mio |
管子寿命(脉冲) | >2Billion | >2Billion |
冷却 | ||
冷却 | 被动风冷 | 被动风冷 |
占空循环 | 50%,5min on | 50%,5min on |
尺寸和重量 | ||
设备尺寸(LxWxH) | **650x315x445mm | **650x315x445mm |
设备重量 | <66kg | <66kg |
电力供应 | **2000VA,单相 | **2000VA,单相 |
MLase准分子激光器应用:
1、准分子眼科医疗;
2、布拉格光栅(FBG)刻写;
3、掩膜版检查;
4、脉冲激光沉积;
5、钻石雕刻;
6、微机械;
7、光谱学研究
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