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名 称:盛美半导体设备(上海)股份有限公司认 证:工商信息已核实
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产品分类
产品简介
主要优势
小尺寸,高产能
先进的IPA干燥方式
工序可灵活编辑
无盒式(No-Cassette)50片晶圆批次处理
节能减排,降低成本
特征规格
配备先进的IPA干燥槽
配备稳定的晶圆传输系统
模块化设计,可客制化组合选配
可选配一体式清洗模块(多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺)
可选配兆声波清洗
关键应用
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