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HORIBA JY在线椭偏仪In-situ series
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仪器介绍:

在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。

技术参数:

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化

主要特点:

将激发和探测头引入生产设备,可实现:

· 动态模式:实时监测膜厚变化

· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分

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