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HORIBA JY TGM300真空紫外光谱仪
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产品简介

超环面光栅单色仪(TGM)系列是专为研究真空紫外光谱而开发设计。通过与单通道探测器相连,TGM300能分析软X射线、极紫外、远紫外光谱。结合紫外光源,TGM300可充当可调谐紫外单色光源。TGM300真空度高达10-9mbar, 是分析10-300nm光谱的理想工具。

技术特点

单片式光学结构确保光通量**化,高光学稳定性

HJY**的超环面光栅技术,全光谱范围内优异的消像差能力

光谱覆盖*低至10nm

支持超高真空度10-9mbar,可接入同步辐射装置

典型应用

极紫外反射测量

紫外可调滤波/光源

激光高次谐波

等离子体物理研究

技术指标

三块标准光栅可选

550 gr/mm

光谱范围: 10 – 50 nm

中心波长: 15 nm

550 gr/mm

光谱范围: 15 – 150 nm

中心波长: 35 nm

275 gr/mm

光谱范围: 50 – 300 nm

中心波长: 55 nm

光学设计

HJY**超环面消像差光栅

焦距

320 mm

孔径

f/10

分辨率

0.4 nm (*)

波长驱动

手动

高真空

10-6 mbar

真空泵法兰

DN100LF

真空计法兰

DN40KF

入射/出射狭缝

嵌入式

可选项:

波长驱动

步进电机自动驱动,USB2接口

狭缝

测微或者自动

手动光栅滑块

真空中实现2块光栅切换

超高真空

10-9 mbar

(*) 采用550gr/mm光栅计算

附件

前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配

后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配

样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品

偏振插片

制冷机,*低至4K

真空泵

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