仪器简介：

Cascade Microtech 的 EPS系列测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台，解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计，提供了众多的配置可能性，旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。您可以通过确定*适合自己当前需要的 EPS模块来设计特有的探针台，或对自己现有的 EPS进行升级以满足未来的测量需求。

优越的应用灵活性使得EPS能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量；EPS也能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用（WLR），能同时配备多达20个探针座。

技术参数：

基座 基本尺寸 Z轴可移动范围

标准平台 490mm x 490mm×480mm 10mm

X-Y-θ平台 XY范围 *小步长 θ范围 晶圆范围

EP6标准平台 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸

主要特点：

1. 结构简单、多功能；

2. 平台配置可满足DC、RF测量；

3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级；

4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件；

扩展功能：

1、射频头部；

2、探针卡端口；（出厂前配置）

3、光电屏蔽箱；

4、CCD视频系统；

5、温控模块；（常温-300℃可选）

6、EPS_FA可配置激光等。