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名 称:成都中科唯实仪器有限责任公司认 证:工商信息已核实
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产品简介
主要特点:模块设计,易于安装体积小巧;自动化高,一键启动运行;功能性强,支持多种靶材镀膜;稳定性好,高效成膜质量可靠。
真空室尺寸(mm):Φ114×H128;
溅射靶材尺寸(mm):2英寸(厚度≤2mm);
样品台:带1个Φ50mm样品台和7个Φ13mm 扫描电镜样品杯,电动旋转。
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