成都中科唯实仪器有限责任公司
首页 > 产品中心 > 专用设备 > 新一代磁控溅射卷绕镀膜设备
产品详情
新一代磁控溅射卷绕镀膜设备
新一代磁控溅射卷绕镀膜设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
中科唯实
关注度:
97
样本:
暂无
型号:
新一代磁控溅射卷绕镀膜设备
产地:
四川
信息完整度:
典型用户:
暂无
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第 1
名 称:成都中科唯实仪器有限责任公司
认 证:工商信息已核实
访问量:3581
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

主要技术指标:

基材厚度:PET:10-125μm;PI:8-75μm

有效镀膜幅宽:1300mm

6组溅射阴极,其中1组孪生阴极

纯金属溅射靶材利用率≥35%;反应溅射靶材利用率≥30%;

真空抽率:卷绕室从大气状态到2×10-2Pa,需要时间≤35min 

镀膜室(清洁、空载)极限压力:≤5×10-4 Pa;

卷绕室压升率(清洁、空载):≤0.5Pa/hr(深冷冷阱工作)

放、收卷径:400mm(**);放、收卷芯轴直径:6 inch(150mm) ;

反馈控制:磁控溅射反馈补气响应时间≤45μs

镀膜均匀性,重复性测试:在1250mm幅宽范围内溅射均匀性≤±3%

反应溅射气体反馈控制系统(可选):实现对反应溅射的精细控制;

前处理:烘烤解热和线性离子源

在线光学反射率传感系统或欧姆测量传感系统

张力控制范围:0-500N ,控制精度:±1%

基膜走速:0.5—10米/分钟


  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言