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产品分类
产品简介
AW-ZMP系列在线式微波等离子清洗机
产品特性
对气体分子有较高的电离和分解程度，离子密度均匀
高压源和等离子体发生器互相隔离，安全因素高
人性化操作界面，易操作和保养维护
性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能
腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射工艺选择性去除污染物
没有内部电极，在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源
片式微波清洗、清洗效果更均匀、更柔和，没有ESD烦扰
产品参数
| 外形尺寸(不含报警灯塔) | L1600×W1100×H1650(mm) |
| 腔体尺寸 | L550×W320×H70(mm) |
| 等离子体发生器 | 频率2 . 45GHz、功率(100～1000)W |
| 兼容料片尺寸 | 长150 - 260 ( mm ) 宽30 - 80 ( mm ) |
| 真空系统 | 油泵/干泵可选，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计 |
| 气路系统 | MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件 |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接) |
| 备注 | 可按客户需求弹性设计 |
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