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产品分类
产品简介
产品特性
结构紧凑，占地面积小
良好的真空气密性，确保稳定的清洗效果
平行/方格电极板方式，可以调整间距适应清洗工件的大小
人性化操作界面，易操作和保养维护
性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能
腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射
工艺选择性去除污染物
可同时存储多组配方，调用即可
全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数
可选自动门方式，方便后续自动化连线需求
产品参数
| 产品型号 | AW-P100 | AW-P135 |
| 外形尺寸 | L1000×W950×H1950(mm)(含报警灯塔) | L1200×W1350×H1950(mm)(含报警灯塔) |
| 腔体尺寸 | L500×W500×H400(mm),不锈钢/航空铝 | L600×W500×H450(mm) |
| 电极规格 | 平行式电极，多层，单层有效面积450(L)×450(W)mm | 九宫格式多层电极 |
| 真空系统 | 真空油泵(可选配干泵) | 罗茨泵组 |
| 等离子体发生器 | 频率13 . 56MHz,功率0 - 600W/1000W可调，自动阻抗匹配 | |
| 气路系统 | 标准配置2路，质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件 | |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接) | |
| 备注 | 可按客户需求弹性设计 | |
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