非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
其他温控精度：
≤±1℃最高温度：
1100℃额定温度：
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序号 | 指标名称 | 主要技术指标 |
1 | 晶圆尺寸 | 8英寸 |
2 | **温度 | 1100℃（石英） |
1250℃（碳化硅） | ||
3 | 控温精度 | ≤±0.5℃ |
4 | 温度均匀性 | ≤±1℃ |
5 | 升温速率 | 0-10℃/min |
6 | **装载量 | 170片 |
7 | 有效工作区域 | Φ230mm×780mm |
8 | 温区数量 | 5 |
9 | 气路数量 | 4 |
10 | 片内均匀性（WIW） | ≤2% |
11 | 片间均匀性（WTW） | ≤2% |
12 | 批间均匀性（RTR） | ≤2% |
13 | 新增颗粒 | ≤50（≥0.16μm） ≤30（≥0.2μm） |
14 | 金属污染 | <5E10 atms/cm2 |
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