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NV-150型MBE系统
NV-150型MBE系统

参考价格

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型号

NV-150型MBE系统

品牌

电子科技

产地

湖南

样本

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中国电子科技集团公司第四十八研究所

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生长室

· 极限真空5E-11Torr

· 6英寸或3×3英寸衬底

· 12个源炉口

· 可选E-gun系统

· 衬底**加热至1000°C

· 多种束源炉挡板可选


缓冲室

·极限真空SE-10Torr

·可选集成式高温除气台

·可选独立预处理室

·易于扩展、多腔互联

·线性手动/自动传输


进样室

· 快开门设计

· 可装载7片晶圆

· 红外灯管加热

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