探测器：
背散射电子探测器加速电压：
5kV，10kV，15kV电子枪：
六硼化铈电子光学放大：
160-200000x光学放大：
3-16x分辨率：
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Phenom Ar-C 手套箱版扫描电镜
+ 
在手套箱内进行空气敏感材料的制备和分析
Phenom Argon-Compatible Desktop SEM（以下简称：Phenom Ar-C）是**一款可以放在氩气手套箱中安装并运行的扫描电 镜，可以在手套箱内进行更安全的样品制备、显微观察和能谱分析。无需将样品从一台仪器转移到另一台仪器，实现了直接对空气敏感 样品的研究，节省了时间和资源。
传统方法与 Phenom 手套箱版台式扫描电镜对比
Phenom Ar-C，标配四分割背散射电子检测器（BSD），可获取清晰的图像并 提供成分衬度。可以选配二次电子探测器（SED）， 完全集成的能谱（EDS）系 统进行元素分析。兼容 ProSuite 拓展软件，如 ParticleMetric 颗粒统计分析系 统、PoroMetric 孔径统计分析测量系统、FiberMetric 纤维统计分析测量系统和 3D 粗糙度重建系统，来协助进一步分析样品。
放置于氩气手套箱中的 Phenom Ar-C
2 μm
电池阴极颗粒的 SEM 图像
成像模式 | |
光学显微镜 放大倍数：3 – 16x | |
电子显微镜 | 放大倍数：160 –200,000x |
照明 | |
光学 | 明场和暗场模式 |
电子光学 | • 长寿命 CeB6 灯丝 • 束斑尺寸连续可调 |
加速电压 | 基本模式：5kV, 10kV 和 15kV 高级模式：4.8kV - 15kV 连 续可调，用于成像和元素分析 |
样品真空 | 低 - 中 - 高 |
分辨率 | 优于 8 nm |
探测器 | |
标配 | 背散射电子探测器 |
选配 | 二次电子探测器 能谱探测器 |
图像检测 | |
光学 | 高分辨率彩色导航相机 |
电子光学 | 高灵敏度四分割背散射电子探测 器（具有成分模式和形貌模式） |
图像格式 | |
JPEG, TIFF, BMP | |
图像分辨率选项 | |
960x600, 1920x1200, 3840x2400, 和 7680x4800 像素 | |
数据存储 | |
USB 闪存, 网络, 工作站 | |
• 网口 | |
• 电源口 • USB 接口 | |
尺寸和重量 主机 | 316(w) x 587(d) x 625(h) mm, 75 kg | |
隔膜泵 | 145(w) x 220(d) x 213(h) mm, 4.5 kg | |
电源 | 156(w) x 300(d) x 74(h) mm, 3 kg | |
显示器 (24 英寸) | 531.5 (w) x 250 (d) x 515.4 (h) mm, 6.7 kg | |
工作站 | • SSD 存储和 4 个 USB 插槽 • 92.5 (w) x 305.6 (d) x 343.5 (h)mm, 8 kg | |
样品尺寸 | ||
• ** 100mm (w) x 100mm (d) x 40mm (h) 样品扫描区域 • 50mm x 50mm • 100mm x 100mm（可选） | ||
样品加载时间 | ||
光学 | <5 s | |
电子光学 安装要求 | <60 s | |
环境条件 | ||
温度 | 15 –25°C (59–77°F) | |
H2O / O2 比例要求 | < 0.5 PPM | |
电源 | 单相交流 100–240 V， 50/60 Hz, 平均 163 W， ** 348 W | |
物理参数 | ||
• 建议桌台规格为 150 x 75 cm, 承重至少 150 kg • 隔膜泵必须安装在无明显振动处 | ||
可输出用户选定的独立元素 背散射电子图像
元素 / SEM 混合图像
扫描区域 任何尺寸的矩形
面扫描像素数 | 32x20–960x600 像素 |
像素停留时间 | 1 –500 ms |
线扫描 | |
线扫描像素数 16 –512 像素 | |
线扫描停留时间 10 –500 ms
Docx 格式
对地质样品进行 EDS Mapping 分析
自动化
Phenom Ar-C 可通过 PPI（Phenom 编程接口）进行标准访 问，这是一种通过 Python 脚本来运行 Phenom Ar-C 的方法。 可以协助用户自动化分析颗粒、孔隙、纤维或大尺寸 SEM 图像 的重复性任务。如果需要，可以根据您的具体使用需求提供相应 的技术支持。
CeB6 长寿命灯丝
CeB6（六硼化铈）长寿命灯丝具有以下几个优点。首先，与钨灯 丝相比，提供的高亮度使用户更易于获得具有更多细节的高质量 图像。第二，灯丝的使用寿命很长，无需频繁拆开手套箱进行更 换，加上定期的维护保养，这可以为用户带来长周期的稳定体
验。第三，通过 Phenom 智能软件可尽可能地延长使用寿命， 当 Phenom Ar-C 未使用时，灯丝进入休眠状态。
优中心样品台
在许多的 SEM 应用中，如果样品可以倾斜和旋转，有助于更深 入地了解样品特性。优中心样品台就是考虑到这一点而专门开发 的，该样品台可以轻松安全地从各个角度观察样品。
高度集成 ProSuite 软件
操作界面集成化 自动识别谱峰
迭代反卷积算法 置信度指标可视化
导出功能：CSV, JPG, TIFF, ELID, EMSA
可 4 个方向移动：Z (高度)、R (旋转)、T (倾斜) 和 x' (x-prime)
**样品尺寸 | |
90° 倾斜放置 | Ø ≤30 mm; 高度 ≤32 mm |
< 45° 倾斜放置 | Ø ≤70 mm; 高度 ≤32 mm |
倾斜角度 | |
-15° 和 +90°之间 | |
旋转角度 | |
360° 连续 | |
一款可以放在氩气手套箱中安装并运行的扫描电 镜，可以在手套箱内进行更安全的样品制备、显微观察和能谱分析。无需将样品从一台仪器转移到另一台仪器，实现了直接对空气敏感 样品的研究，节省了时间和资源。
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