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产品介绍
多模态表面缺陷检测仪(MMDI-2000)，结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式，对表面缺陷尺度、位置、形态进行统计分析，并可结合使用光热弱吸收、显微成像等不同模态检测用户关注的缺陷区域，获取关注区域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相衬显微成像技术，实现凸起和凹坑的区分。
| 多模态表面缺陷检测仪 | |
| 型号 | MMD1-2000 |
| **样品尺寸 | 100mm x 100mm(L x W)，或根据客户需求定制 |
| 检测模式 | 激光散射、光热吸收、显微成像;可根据用户需求定制不同组合模式 |
| 缺陷检测灵敏度 | ≤0.3 μm |
| 光热吸收检测灵敏度 | ≤10ppb |
| 光热吸收缺陷检测灵敏度 | ≤10 μm |
| 光热吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波长 |
| 显微成像检测横向分辨率 | ≤0.5um |
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