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| 大口径元件缺陷多模态检测仪 | |
| 型号 | MMDI-2000-LA |
| 样品尺寸 | ≤500mm x 500mm |
| 检测模式 | 激光散射、光热吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微 成像五种。可根据用户需求定制不同组合模式 |
| 缺陷检测灵敏度 | ≤0.3μm |
| 光热吸收检测灵敏度 | 10ppb |
| 光热吸收缺陷检测灵敏度 | ≤10μm |
| 光热吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波长 |
| 显微成像检测横向分辨率 | ≤1μm |
| 激光共聚焦缺陷检测灵敏度 | ≤0.3μm |
| 激光共聚焦缺陷横向分辨率 | ≤0.5μm |
| 激光共聚焦缺陷纵向分辨率 | ≤1μm |
大口径元件缺陷多模态检测仪(MMDI-2000-LA)，结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式，可利用激光散射对大口径光学元件进行全口径快速扫描成像，对缺陷尺度、位置、形态进行统计分析，并结合使用光热弱吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微成像等不同模态检测用户关注缺陷区域，获得关注区域的缺陷信息。
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