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深紫外光学吸收测量仪(PTS-DUV-2000/PTB-DUV-2000),是一款基于激光诱导光热检测技术,专为深紫外波段光学材料和元件吸收特性检测分析而开发的高灵敏度精密光学测试仪器。
PTS-DUV-2000适用于各类深紫外波段光学薄膜和光学材料表面吸收特性的检测和分析,包括表面吸收率测量、表面吸收均匀性分布测试、吸收缺陷检测分析、激光辐照下的吸收稳定性监测等。
PTB-DUV-2000适用于各类深紫外波段光学元器件及材料体内吸收特性的检测和分析,包括材料体吸收系数测量、体内吸收均匀性分布测试、体吸收缺陷检测分析等。
典型的应用对象为:光学薄膜、光学玻璃、晶体材料、光学陶瓷、半导体晶圆。
深紫外光学吸收测量仪 | ||
型号 | PTS-DUV-2000 | PTB-DUV-2000 |
检测功能 | 表面吸收 | 表面吸收、体吸收 |
检测模式 | 反射式、透射式 | 反射式、透射式 |
**吸收检测灵敏度 | ≤0.1ppm | |
检测波长 | 266nm或其他深紫外定制波长 | |
**扫描空间分辨率 | ≤1μm |
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