中国粉体网讯 近日,深圳后浪实验室利用自主研发的直接溅射陶瓷基板(Direct Sputtering Ceramic Substrate,DSC)首次完成曝光、显影、蚀刻等工艺实现IGBT线路双面刻蚀,制备的IGBT基板铜层[更多]
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